陈国华他们研制出来的光刻机,所使用的光源是汞灯。
这玩意儿可以产生波长为400纳米的蓝光和360纳米的不可见紫外线,这是初代光刻机的光源。
现如今,陈国华他们需要研制的便是二代光源了。
首先,从发光方式来说,就不是之前的什么汞灯了,而是激光。
既然是激光,那么就需要不同的激光器了。
“来来来,老章,你们还记得我之前给你们提到过的深紫外准分子激光器吧?”
陈国华拍了拍手掌,吸引了大家的注意力。
但,没等章济川他们回应,陈国华又继续说道:
“先不提深紫外准分子激光器如何制备,我们来说一说准分子激光这一项技术吧”
刚把准分子激光器研发出来,这还有什么好说的呢?
但是大家都听得十分认真。
毕竟陈国华绝对不会无的放矢,这么说,肯定有他的道理。
原时空的历史上,准分子激光是一九七零年的时候,在莫斯科物理研究所发明的。
这玩意儿就是使用电子束激发氙气二聚体,产生的准分子激光波长为172nm。
然后在七五年的时候,北美海军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心和桑迪亚国家实验室等多家机构利用电子束激发惰性气体卤化物。
直到一九七九年,西德朗松珂利才生产出
现如今这个时空,陈国华他们在研发的过程中,就直接尝试了十种能够产生准分子激光的气体。
但已经成功的,目前仅有两种,还剩下八种气体的研发工作,并不会结束,而是需要进一步研发。
换句话说,他们目前已经掌握了两种可以产生准分子激光的气体。
“你们觉得这样的准分子激光器,它能有什么作用呢?”
看着众人,陈国华先是复盘了一下准分子激光器的技术,接着又抛出了一个问题。
章济川当即便举手应道:
“主任,我知道,这可以应用在光刻机上面,除此之外,我觉得在光学镜片这方面也有很大的作用.”
“不错,说对了一点,还有吗?”
陈国华面露赞许的目光,但却更加期待其他研究员的回答。
光刻机就不用说了,毕竟这台准分子激光器就是为他们光刻机实验室制造研发的。
光学镜片的这个作用,也是章济川取巧了,毕竟之前陈国华就给大家科普过关于光刻机的应用了。
伴随着陈国华的提问,众多研究员们,苦思冥想。
也有人回答了陈国华的问题,有对有错,倒是让陈国华有些哭笑不得。
这些研究员的知识面,还是太窄了呀。